Nadezhda Bulgakova, vedoucí oddělení vědeckých laserových aplikací, se zúčastnila mezinárodní konference CLEO 2023 (Laser Science to Photonic Applications), která se konala v San Jose, CA, USA ve dnech 7. až 12. května 2023. Nadezhda Bulgakova je členkou podvýboru „Light-Matter Interactions and Materials Processing“ této prestižní konference (také pro rok 2024 CLEO), jejímž cílem je poskytnout prostor a možnost pro diskuzi v oblasti inovativních pokroků, výzkumu a nových technologiích ve všech aspektech vývoje laserů od základního výzkumu až po průmyslové aplikace.
Nadezhda Bulgakova také přednesla přednášku s názvem „Selektivní ultrakrátké laserové žíhání amorfních Ge/Si vícevrstvých vrstev”. Spoluautory příspěvku jsou naši kolegové z centra HiLASE Alexander Bulgakov, Yoann Levy, Jiří Beránk a Martin Zukerstein spolu s Vladimírem A. Volodinem a Yuzhu Chengem z Novosibirské státní univerzity, Rusko, Sivou S. Nagisettym z Coherent Laser Systems GmbH & Co. KG, Německo a Alexanderem A. Popovem z Valijevova institutu fyziky a technologie, Jaroslavl, Rusko. Rozšířený dvoustránkový abstrakt bude publikován a indexován ve Web of Science a Scopus (OPTICA Publishing Group)
ABSTRAKT
Byla učiněna řada experimentů selektivně krystalizovat germanium v amorfních Ge/Si vícevrstvých systémech. Obvykle však laserové žíhání vede k mísení Si a Ge nanovrstev a k vytvoření jejich slitiny. Nedávno jsme dosáhli úspěšné selektivní krystalizace vrstev germania v amorfním Ge/Si vícevrstvém systému pomocí pikosekundového 1030nm laserového žíhání. V této studii jsme rozšířili podmínky ozařování na delší vlnovou délku (1500 nm) a kratší dobu trvání pulzu (70 fs) a porovnali režimy žíhání pomocí pikosekundových a femtosekundových pulzů s cílem nalézt optimální podmínky pro selektivní krystalizaci vrstev Ge v multivrstvé struktuře Ge/Si bez krystalizace křemíku a promísení vrstev Ge a Si. Byl studován vliv substrátu na účinnost krystalizace.
