Laserové mikroobrábění laserem Pharos

Stanice vybavená laserem Pharos zahrnuje možnosti skenování:

Galvo skener (Scanlab SCANcube III):

• Provoz s 1030 nebo 515 nm;
• Skenovací rychlost: ≤ 2 m/s;
• Přesnost skenování: ~1 μm;
• Oblast zpracování 10×10

Mikro-obráběcí systém:

• Provoz s 1030 nebo 515 nm;
• Skenování xyz posuvy;
• Skenovací rychlost: ≤ 0.2 m/s;
• Minimální krok: 150 nm;
• Oblast zpracování: 10×10 cm.