Kapitola knihy: YAG Lasers for Lithography and Metrology Photon Sources for Litography and Metrology

Vedoucí oddělení Vývoj pokročilých laserů Centra HiLASE, Martin Smrž, vedoucí týmu Tenkodiskové lasery, Jiří Mužík, a Siva Sankar Nagisetty jsou autory dvaadvacáté kapitoly knihy Photon Sources for Litography and Metrology. V té se pod názvem YAG Lasers for Lithography and Metrology zaměřili na využití právě YAG laserů jakožto zdrojů fotonů pro tyto aplikace.

Editorem knihy vydané v září tohoto ruku nakladatelstvím SPIE Press je Vivek Bakshi. Slovy předních světových osobností v oboru se v jejích 28 kapitolách dočtete vše důležité ohledně technologií zdroje fotonů.

Více o knize.

window.dataLayer = window.dataLayer || []; function gtag(){dataLayer.push(arguments);} gtag('js', new Date()); gtag('config', 'UA-150382178-1');